賀德克HYDAC壓力傳感器的基本原理

賀德克壓力傳感器信息融合技術(shù)的基本原理就像人的大腦綜合處理信息的過(guò)程一樣，將各種賀德克壓力傳感器進(jìn)行多層次、多空間的信息互補(bǔ)和優(yōu)化組合處理，zui終產(chǎn)生對(duì)觀測(cè)環(huán)境的一致性解釋。在這個(gè)過(guò)程中要充分地利用多源數(shù)據(jù)進(jìn)行合理支配與使用，而信息融合的zui終目標(biāo)則是基于各賀德克壓力傳感器獲得的分離觀測(cè)信息，通過(guò)對(duì)信息多級(jí)別、多方面組合導(dǎo)出更多有用信息。這不僅是利用了多個(gè)賀德克壓力傳感器相互協(xié)同操作的優(yōu)勢(shì)，而且也綜合處理了其它信息源的數(shù)據(jù)來(lái)提高整個(gè)賀德克壓力傳感器系統(tǒng)的智能化。

壓力賀德克壓力傳感器是使用的一種賀德克壓力傳感器。傳統(tǒng)的平膜壓變壓力賀德克壓力傳感器以機(jī)械結(jié)構(gòu)型的器件為主，以彈性元件的形變指示壓力，但這種結(jié)構(gòu)尺寸大、質(zhì)量重，不能提供電學(xué)輸出。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體壓力賀德克壓力傳感器也應(yīng)運(yùn)而生。其特點(diǎn)是體積小、質(zhì)量輕、準(zhǔn)確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體賀德克壓力傳感器向著微型化發(fā)展，而且其功耗小、可靠性高。

半導(dǎo)體壓電阻型

半導(dǎo)體壓電阻抗擴(kuò)散壓力賀德克壓力傳感器是在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力，通過(guò)外力（壓力）使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果，從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。

靜電容量型

靜電容量型壓力賀德克壓力傳感器，是將玻璃的固定極和硅的可動(dòng)極相對(duì)而形成電容，將通過(guò)外力（壓力）使可動(dòng)極變形所產(chǎn)生的靜電容量的變化轉(zhuǎn)換成電氣信號(hào)。（E8Y的動(dòng)作原理便是靜電容量方式，其他機(jī)種采用半導(dǎo)體方式）。

無(wú)法避免誤差

在選擇壓力賀德克壓力傳感器的時(shí)候我們要考慮他的綜合精度，而壓力賀德克壓力傳感器的精度受哪些方面的影響呢?其實(shí)造成賀德克壓力傳感器誤差的因素有很多，下面我們注意說(shuō)四個(gè)無(wú)法避免的誤差，這是賀德克壓力傳感器的初始誤差。

首先的偏移量誤差：由于壓力賀德克壓力傳感器在整個(gè)壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定，因此變換器擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。

其次是靈敏度誤差：產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值，靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值，那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過(guò)程的變化。

第三是線性誤差：這是一個(gè)對(duì)壓力賀德克壓力傳感器初始誤差影響較小的因素，該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性，但對(duì)于帶放大器的賀德克壓力傳感器，還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線，也可以是凸形曲線稱重賀德克壓力傳感器。

zui后是滯后誤差：在大多數(shù)情形中，壓力賀德克壓力傳感器的滯后誤差*可以忽略不計(jì)，因?yàn)楣杵哂泻芨叩臋C(jī)械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。

壓力賀德克壓力傳感器的這個(gè)四個(gè)誤差是無(wú)法避免的，我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設(shè)備，利用高新技術(shù)來(lái)降低這些誤差，還可以在出廠的時(shí)候進(jìn)行一點(diǎn)的誤差校準(zhǔn)，盡zui大的可能來(lái)降低誤差以滿足客戶的需要。

賀德克HYDAC壓力傳感器的基本原理